特點：

1、可更換清洗吸盤，可使用4-12英寸的清洗吸盤；

2、操作程序可按作業(yè)需求編寫調(diào)整，設(shè)備運行流程、清洗時間及各項參數(shù)可自行編制；

3、設(shè)備運行狀態(tài)及參數(shù)在線實時監(jiān)控，自動門配有安全光柵，保證操作安全；

4、采用真空吸附式清洗盤，晶元夾具的取放更安全、方便；

5、擺臂式清洗，清洗范圍可編制，適用范圍廣、無清洗盲區(qū)、無二次污染，清洗效果更佳；

6、設(shè)備清洗室全密封，且配有自動擋水圈，有效防止二次污染；

7、高速離心設(shè)計，轉(zhuǎn)速可調(diào)節(jié)100-2000R/Min；

8、配備獨特的靜電消除裝置，輔助清洗達到最佳效果，可選擇使用氮氣；

9、設(shè)備配有大面積透明觀察窗；

10、縮減寬度的省空間設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小；

11、整機鏡面不銹鋼機身，能耐酸堿，對工作環(huán)境無污染，鏡面機殼易于保養(yǎng)。

規(guī)格參數(shù)：

清洗機工藝

放入物料---一鍵清洗開始，安全門自動關(guān)閉---二流體清洗---離心脫水（去靜電離子風(fēng)與加熱腔體輔助干燥)

---清洗完畢---報警提示---玻璃門自動打開。

采用高速離心設(shè)計，主要使用于4-12英寸的硅晶圓片的精密清洗；

搭配二流體清洗、靜電消除/氮氣、 高速離心等裝置，使被清洗件達到干燥、潔凈的目的。